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公司電話：0731-85238098潔凈厭氧高溫氣氛爐
DTN430C/630C/450C/650C
潔凈度100級、氧濃度低于20ppm的氣氛爐，主要應用于固化半導體晶圓等。
特點
·最高工作溫度360℃和500℃、潔凈度100級、氧濃度低于20ppm，主要應用于固化半導體晶圓（光刻膠PI、PBO固化）、玻璃基板烘烤、高精度退火處理等。
·采用耐熱高性能高效過濾器，箱內(nèi)潔凈度始終保持在100級，可在潔凈的環(huán)境下進行高溫烘烤。
·高氣密性的壓力箱構造，氧濃度到達時間短，N2消耗量極低。通過磁密封保持高氣密性，并采用水冷機構保護密封部件免受熱量影響。
·可實現(xiàn)快速升溫和降溫，升降溫速率可調(diào)節(jié)。
·標準裝備有廢液回收裝置，對氣體進行冷卻回收。
安全性
擁有門檢測開關、溫度過升防止器、氧濃度異常、氮氣壓力檢測、氮氣流量檢測、冷卻水流量檢測、漏水傳感器、過電流漏電漏電保護開關等安裝裝置。
規(guī)格
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