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公司電話：0731-85238098潔凈厭氧高溫氣氛爐
DTN430C/630C/450C/650C
潔凈度100級、氧濃度低于20ppm的氣氛爐，主要應(yīng)用于固化半導(dǎo)體晶圓等。
特點(diǎn)
·最高工作溫度360℃和500℃、潔凈度100級、氧濃度低于20ppm，主要應(yīng)用于固化半導(dǎo)體晶圓（光刻膠PI、PBO固化）、玻璃基板烘烤、高精度退火處理等。
·采用耐熱高性能高效過濾器，箱內(nèi)潔凈度始終保持在100級，可在潔凈的環(huán)境下進(jìn)行高溫烘烤。
·高氣密性的壓力箱構(gòu)造，氧濃度到達(dá)時間短，N2消耗量極低。通過磁密封保持高氣密性，并采用水冷機(jī)構(gòu)保護(hù)密封部件免受熱量影響。
·可實(shí)現(xiàn)快速升溫和降溫，升降溫速率可調(diào)節(jié)。
·標(biāo)準(zhǔn)裝備有廢液回收裝置，對氣體進(jìn)行冷卻回收。
安全性
擁有門檢測開關(guān)、溫度過升防止器、氧濃度異常、氮?dú)鈮毫z測、氮?dú)饬髁繖z測、冷卻水流量檢測、漏水傳感器、過電流漏電漏電保護(hù)開關(guān)等安裝裝置。
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